1700℃ 高温高真空三温区CVD管式炉

PTC D80/1500/17/3
三温区CVD管式炉,优质新工艺硅钼棒加热,温度可达1700°C。配备真空泵和气体混合装置,宇电PID温度控制系统。主要用于真空和大气保护烧结、真空薄膜涂布、CVD实验、稀土制备、晶体退火等和金属热处理的物理元件测试。
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- 产品描述
- 技术参数
- 视频讲解
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- 商品名称: 1700℃ 高温高真空三温区CVD管式炉
- 商品编号: PTC D80/1500/17/3
- 产品概述: 三温区CVD管式炉,优质新工艺硅钼棒加热,温度可达1700°C。配备真空泵和气体混合装置,宇电PID温度控制系统。主要用于真空和大气保护烧结、真空薄膜涂布、CVD实验、稀土制备、晶体退火等和金属热处理的物理元件测试。
<p>氧化铝陶瓷炉管带不锈钢水冷法兰,硅钼棒加热</p> <p>SS304水冷密封法兰,带针阀和仪表</p> <p>配备真空泵,气体混合装置,多通道供气系统,水冷系统</p>
产品概述
PT D80/1500/17是一款三温区CVD高温高真空管式炉。由优质新工艺硅钼棒加热,温度可达1700°C(高真空下为1500℃)。配备真空泵和气体混合装置。采用基于微处理器的自调谐宇电PID温度控制系统,控温精度+/-℃,无过冲,具有出色的隔热效果和温度均匀性。分子真空泵的真空度可达10E-5torr。炉管采用外径80mm的氧化铝管,氧化铝含量为99.6%,具有良好的耐高温性和耐腐蚀性。真空法兰采用一对SS304水冷密封法兰,带针阀和仪表,允许在真空或气流条件下加热样品。有多个进气口和出气口,可控制气氛。CVD管式炉主要用于真空和大气保护烧结、真空薄膜涂布、CVD实验和稀土制备、电子照明、晶体退火、生物陶瓷、电子陶瓷、特殊合金、磁性材料、精密铸造和金属热处理的物理元件测试,是实验室日常使用的理想工具。同时适用于矿物检测,珠宝,如珍贵宝石(气氛N2, Co2 ,Ar, O2, H2更多)。
主要技术特点
- 温度可达1700℃
- 水平式、高真空度管式炉
- 双层壳体结构、热量损失小
- 真空度可达 10E-5 torr,配备分子真空泵和气体混合装置
- 多通道气体进出口
- 优质氧化铝炉管,均匀受热,温场均匀
- 炉体两端采用SS304密封水冷法兰,耐高温,耐腐蚀
- 配备水冷系统
- B型热电偶,使用寿命长
- 加热元件为硅钼棒,提供俱佳温度均匀性
- 智能化30段可编程自动控温,控温精度±1°C
- 断偶、超温报警、漏电保护
- ISO, CE标准
产品细节展示
1700°C 三温区高温高真空管式炉连接气路及水冷装置
- PT D80/1500/17高温管式炉主要由炉体,炉管,法兰密封配件,供气系统,水冷系统,真空系统和温控系统等七大部分组成。
- 炉体外壳表面经过酸洗磷化,环保静电粉末喷涂烤制,抗氧化耐腐蚀,表面温度Rt+45℃。
- 外观精致,出口品质,ISO, CE认证
1700°C CVD高温高真空三温区管式炉炉膛剖面图
- 炉膛材料采用高铝陶瓷纤维,经数控雕刻机精雕而成,炉壁间耦合紧密。加热元件采用U型新工艺硅钼棒,温度可升至1700℃,双面对流加热,温场均匀。
- 加热区长度1500mm, 可适配40-80mm炉管。炉管采用氧化铝含量为99.5%的陶瓷管,耐温1700℃,炉管内部加热区临界处配备陶瓷管堵,可有效防止热量外溢,降低热损。
- 炉膛顶部中心位置开孔配备B型传感器。
水冷法兰,宝塔气嘴,分子真空泵
- 炉管两端配备304不锈钢密封水冷法兰,可有效降低炉管两端表面温度,并防止法兰内部氟胶密封圈高温下熔化
- 进出气口采用G1/4英寸的宝塔气嘴,可接外径8mm的聚四氟乙烯管
- 通过KF25连接法兰接口与分子真空泵,真空度可达10*-5mbar
1700°C系列高温管式炉升降温曲线参考
- 具备30段曲线升温功能,多段温度程序控制灵活。升温曲线呈现出一种均匀且稳定的温度上升态势,升温、保温、降温速度均匀,曲线平缓。平稳的升温曲线意味着设备运行的稳定性和安全性得到了有效保障
- 炉膛保温效果良好,自然降温,可分段控制
- 可选配触摸屏,升降温曲线实时展示在屏幕上,可下载上传等。
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详细技术参数
型号 PTC D80/1500/17/3 构成 炉壳,炉膛,炉管,真空系统,气氛控制系统,气体反应室,温控系统,冷水循环,安全保护装置 加热区长度 三温区,1500mm 均匀温度区 700mm 炉管尺寸 外径:80mm,内径70mm,长度:2300mm 炉管材质 氧化铝管(含量99.6%) 电源供应 25KW AC380-415V 50/60Hz 相数 三相电 工作温度 额定温度:1700℃
连续工作温度:1600℃温度均衡 +/- 5℃ 密封法兰 SS304水冷密封法兰 管堵 氧化铝堵塞4个,防止加热过程中,炉膛中心热量外溢,有效降低热损 气氛性能 可通入H2, Ar, N2等
气体压力≤70000Pa真空系统 真空度可达 10E-5torr,带分子泵 气路系统 三通道质子流量气体控制系统 (可选收到混气装置)
设有多个进气口和出气口
气体流量控制范围 0-500sccm温控器 宇电PID控制器
自动调谐功能
可编程30段
温度精度+/- 1℃加热元件 硅钼棒 加热速率 额定加热速率:10℃/min
推荐加热速率:1-8℃/min热电偶类型 B型 炉体材料 碳钢双层外壳 炉膛材料 1800#高铝纤维板 电器元件 施耐德制造商空气开关、交流接触器、SSR继电器等。 设备保护 超温报警、漏电保护、过温保护 标准 CE, ISO 质保 18个月超长质保,终身技术维护 标配清单 炉体,炉管及法兰,3路气体控制系统,分子真空泵,冷水机,高温手套,设备说明书 运输信息 重量:600kgs
包装尺寸:W800xL2650xH1560mm可选配 气体探测系统 售后服务 1. 消耗品如加热元件,炉管等不在保修范围内
2. 腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内
3. 除外部因素或客户使用不当所导致的损坏承担运费,送货上门注意事项 1. 炉管内气压不可高于0.02MPa
2. 向炉管内通入气体时,气瓶上须安装减压阀
3. 通入还原性或易燃易爆气体前,需要先置换管内气体。置换气体可选择氮气。
4. 当使用温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
5. 设备操作房间必须保持良好的通风
6. 样品加热且有气体持续充入时,若气压读数大于0.02MPa,须打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)尺寸比较
型号 PT D40/300/17 PT D60/300/17 PT D80/300/17 加热区长度 300mm 300mm 300mm 炉管尺寸 OD40xL900mm OD60xL900mm OD80xL900mm 功率 3 KW 4 KW 5 KW 重量 185 KGS 238 KGS 276 KGS
关键词:
三温区管式炉
CVD 管式炉
1700°C 管式炉
资质荣誉
常见问题
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